Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Halbleitersubstratmessvorrichtung, Lithografische Vorrichtung

EP3973358 Art B1 5. Juli 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3973358
Aktenzeichen: EP20725523
Anmeldetag: 11. Mai 2020
Veröffentlichung: 5. Juli 2023
Erteilung: 5. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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