Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen einer Hartmaske Und/oder einer Ätzstoppschicht in Gegenwart von Schichten aus Low-K-Materialien, Kupfer, Kobalt Und/oder Wolfram

EP3973565 Art B1 19. Juli 2023

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3973565
Aktenzeichen: EP20726158
Anmeldetag: 20. Mai 2020
Veröffentlichung: 19. Juli 2023
Erteilung: 19. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C11D3/00C11D7/32C11D7/50C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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