Sixny als eine Nukleierungsschicht für Sicxoy

EP3973566 Art A1 30. März 2022

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3973566
Aktenzeichen: EP20809415
Anmeldetag: 5. Mai 2020
Veröffentlichung: 30. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/02C23C16/32C23C16/455C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von