Herstellungsverfahren für ein Gereinigtes Produkt aus Resistzusammensetzung, Resistmusterherstellungsverfahren und Gereinigtes Produkt aus Resistzusammensetzung

EP3974047 Art A1 30. März 2022

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3974047
Aktenzeichen: EP20810745
Anmeldetag: 20. Mai 2020
Veröffentlichung: 30. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B01D71/64G03F7/004G03F7/039G03F7/20G03F7/26B01D67/00B01D69/02G03F7/16// B01D61/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

927 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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