Scrollvakuumpumpe und Ihr Herstellungsverfahren
EP3974655
Art B1
26. April 2023
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3974655
- Aktenzeichen
- EP22156933
- Anmeldetag
- 29. September 2020
- Veröffentlichung
- 26. April 2023
- Erteilung
- 26. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F01C21/10F04C25/02F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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