Bestimmung einer Korrektur an einem Prozess

EP3974906 Art B1 26. März 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3974906
Aktenzeichen: EP21197330
Anmeldetag: 9. Oktober 2019
Veröffentlichung: 26. März 2025
Erteilung: 26. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G05B13/02H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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