Mikroelektromechanische Struktur mit Piezoelektrischer Dünnschicht mit Verbesserten Elektrischen Eigenschaften und Zugehöriges Herstellungsverfahren
Anmelder: STMicroelectronics S.r.l. 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3975273
- Aktenzeichen
- EP21199247
- Anmeldetag
- 27. September 2021
- Veröffentlichung
- 21. August 2024
- Erteilung
- 21. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10N30/00H10N30/20H10N30/079B06B1/06
Abstract
A piezoelectric microelectromechanical structure (10), provided with a piezoelectric layer structure (11) having a main extension in a horizontal plane (xy) and a variable cross-section in a plane (xz) transverse to the horizontal plane, comprises a bottom electrode (12), a piezoelectric material (14) constituted by a PZT film arranged on the bottom electrode, and a top electrode (16) arranged on the piezoelectric material, wherein the piezoelectric material has a first thickness (w1) along a vertical axis (z) at a first area (14') and a second thickness (w2) along the vertical axis (z) at a second area (14"), the second thickness being smaller than the first thickness. A corresponding manufacturing process is also disclosed.
Anmelder
- Firma
- STMicroelectronics S.r.l.
- Land
- 🇮🇹 Italien
Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.
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