Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von Werkstücken Während einer Anzahl von Abtrennvorgängen mittels einer Drahtsäge und Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium

EP3976335 Art A1 6. April 2022

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3976335
Aktenzeichen
EP20722431
Anmeldetag
29. April 2020
Veröffentlichung
6. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B28D5/04B28D5/00B23D57/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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