Vakuumpumpsystem mit mehreren Pumpen

EP3976964 Art B1 6. Dezember 2023

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3976964
Aktenzeichen
EP20723494
Anmeldetag
24. April 2020
Veröffentlichung
6. Dezember 2023
Erteilung
6. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04B41/06F04B37/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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