Turbomolekularpumpe, Vakuumpumpsystem und Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumkammer
EP3976973
Art B1
23. Juli 2025
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3976973
- Aktenzeichen
- EP20730223
- Anmeldetag
- 29. Mai 2020
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2025
- Erteilung
- 23. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04B37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Totman, Clare Elizabeth
London, Großbritannien
103
Patente gesamt
14
Fachgebiete
6
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Schwerpunkte