Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen

EP3977206 Art B1 11. März 2026

Anmelder: Microtau IP Pty Ltd, Microtau IP Pty Ltd. 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3977206
Aktenzeichen
EP20813650
Anmeldetag
29. Mai 2020
Veröffentlichung
11. März 2026
Erteilung
11. März 2026
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B81C1/00G02B27/42// B64C21/10B64F5/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Microtau IP Pty Ltd
Microtau IP Pty Ltd.
Land
🇦🇺 Australien

Fachgebiete

Luft- & Raumfahrttechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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