Wässrige Lösung zum Ätzen von Siliciumoxid

EP3978585 Art A1 6. April 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3978585
Aktenzeichen
EP20199275
Anmeldetag
30. September 2020
Veröffentlichung
6. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Imec VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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