Achromatische Optische Relaisanordnung

EP3978964 Art A1 6. April 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3978964
Aktenzeichen: EP20199589
Anmeldetag: 1. Oktober 2020
Veröffentlichung: 6. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B3/04G01N21/47G02B3/08G02B5/00G02B27/00G02B27/12G02B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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