Querschnittsabbildung mit Verbesserter 3D-Volumenbildrekonstruktionsgenauigkeit

EP3980970 Art A1 13. April 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3980970
Aktenzeichen
EP20732101
Anmeldetag
25. Mai 2020
Veröffentlichung
13. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/33G06T7/00G01N23/2251H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT, Inc.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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