Tesch-Biedermann, Carmen
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Patente
52 gesamt| Patent | |||
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29.04.2026 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Bestimmte Verbesserungen von Mehrstrahlerzeugungs- und Mehrstrahlablenkeinheiten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Certain improvements of multi-beam raster units such as multi-beam generating units and multi-beam deflector units of a multi-beam charged particle microscopes are provided. The improvements include design, fabrication and adjustment of multi-beam raster units including apertures of specific shape and dimensions. The improvements enable multi-beam generation and multi-beam deflection or stigmation with higher precision. The improvements are relevant for routine applications of multi-beam charged particle microscopes, for example in semiconductor inspection and review, where high reliability and high reproducibility and low machine-to-machine deviations are required. |
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11.02.2026 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahl-Partikelmikroskop mit Schnell Austauschbarer Partikelquelle und Verfahren zum Schnellen Austauschen einer Partikelquelle im Mehrstrahl-Partikelmikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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28.01.2026 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahl-Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betrieb davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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21.01.2026 · Klaus, Sebastian
Atmosphärenwiedereintritts- und Landevorrichtung für eine Raketenstufe und Verfahren für den Wiedereintritt einer Raketenstufe in die Atmosphäre
Luft- & Raumfahrttechnik
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Zusammenfassung
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21.01.2026 · Klaus, Sebastian
Atmosphärenwiedereintritts- und Landevorrichtung für eine Raketenstufe und Verfahren für den Wiedereintritt einer Raketenstufe in die Atmosphäre
Luft- & Raumfahrttechnik
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Zusammenfassung
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31.12.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskopdesign mit Adaptivem Detektionssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.12.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskop mit einer Detektionseinheit zur Schnellen Kompensation von Ladungseffekten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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03.12.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahl-Teilchenmikroskop mit Verbessertem Mehrstrahlgenerator zur Feldkrümmungskorrektur und Mehrstrahlgenerator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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22.10.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskopdesign mit Detektionssystem für Schnelle Ladungskompensation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.08.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Mikroskopentwurf für Mehrstrahlige Geladene Teilchen mit Anisotroper Filterung für Verbesserten Bildkontrast
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Vertretene Patentanmelder
Die Patentanmelder, die Tesch-Biedermann, Carmen in den erfassten Patenten am häufigsten vertritt.
| Anmelder | Anzahl Patente |
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| 1. Carl Zeiss SMT | 2 |
Patente nach Jahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung: so viele Anmeldungen sind für das Jahr insgesamt zu erwarten.