Flüssige Zusammensetzungen zur Selektiven Entfernung von Polysilizium über P-Dotiertem Silizium und Silizium-Germanium Während der Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3983499 Art A1 20. April 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3983499
Aktenzeichen: EP20823687
Anmeldetag: 12. Juni 2020
Veröffentlichung: 20. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213C09K13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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