Verfahren zur Beschichtung eines Substrates mit Tantalnitrid

EP3983571 Art B1 12. Juli 2023

Anmelder: SAFRAN, Centre national de la recherche scientifique, UNIVERSITE DE BORDEAUX 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3983571
Aktenzeichen: EP20737235
Anmeldetag: 14. Mai 2020
Veröffentlichung: 12. Juli 2023
Erteilung: 12. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/06H01J37/32C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SAFRAN
Centre national de la recherche scientifique
UNIVERSITE DE BORDEAUX
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 SAFRAN

Safran ist ein französischer Luftfahrt- und Verteidigungskonzern mit Sitz in Paris. Die Patente umfassen Flugzeugtriebwerke, Avionik und Landungssysteme.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université de Bordeaux

Die Université de Bordeaux ist eine französische öffentliche Universität mit breitem Forschungsspektrum. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Pharma sowie organische Chemie und Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Kunststoff- und Halbleitertechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2006 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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