Verfahren zur Beschichtung eines Substrates mit Tantalnitrid

EP3983571 Art B1 12. Juli 2023

Anmelder: SAFRAN, Centre national de la recherche scientifique, UNIVERSITE DE BORDEAUX 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3983571
Aktenzeichen: EP20737235
Anmeldetag: 14. Mai 2020
Veröffentlichung: 12. Juli 2023
Erteilung: 12. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/06H01J37/32C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SAFRAN
Centre national de la recherche scientifique
UNIVERSITE DE BORDEAUX
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 SAFRAN

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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