Mehrstufige Mehrzonen-Substratpositionierungssysteme
EP3984057
Art A1
20. April 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3984057
- Aktenzeichen
- EP20826672
- Anmeldetag
- 17. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 20. April 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/683H01J37/20G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank