Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP3985711 Art A1 20. April 2022

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3985711
Aktenzeichen: EP21197177
Anmeldetag: 16. September 2021
Veröffentlichung: 20. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/26H01J37/28H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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