Vakuumaktuatoreinkapselung für Molekulare Kontaminanten- und Partikelabschwächung
EP3987359
Art B1
14. Mai 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3987359
- Aktenzeichen
- EP20852600
- Anmeldetag
- 11. August 2020
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2025
- Erteilung
- 14. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/84G02B21/00G02B21/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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