Massenspektrumverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren

EP3989261 Art A1 27. April 2022

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3989261
Aktenzeichen: EP21202574
Anmeldetag: 14. Oktober 2021
Veröffentlichung: 27. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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