Backstrategien zur Erhöhung der Lithografischen Leistung eines Metallhaltigen Resists

EP3990983 Art A1 4. Mai 2022

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3990983
Aktenzeichen: EP20831343
Anmeldetag: 24. Juni 2020
Veröffentlichung: 4. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16G03F7/38G03F7/20G03F7/004G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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