Entwicklung von Fotolack mit Halogenidchemikalien

EP3990987 Art A1 4. Mai 2022

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3990987
Aktenzeichen: EP20831843
Anmeldetag: 25. Juni 2020
Veröffentlichung: 4. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/36G03F7/20H01J37/32G03F7/16H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von