Hochgeschwindigkeitssynchronisierung von Plasmaquellen-/vorspannungsleistungsabgabe
Anmelder: MKS Inc., Lam Research Corporation, MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3991197
- Aktenzeichen
- EP20831723
- Anmeldetag
- 27. April 2020
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Inc.
Lam Research Corporation
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.
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