Abschwächung von Kontaminierter Schnittstelle in einem Halbleiterbauelement

EP3993077 Art A1 4. Mai 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3993077
Aktenzeichen: EP20204665
Anmeldetag: 29. Oktober 2020
Veröffentlichung: 4. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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