Röntgenmessvorrichtung und Röntgenmessverfahren

EP3995820 Art B1 12. Februar 2025

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3995820
Aktenzeichen
EP21206472
Anmeldetag
4. November 2021
Veröffentlichung
12. Februar 2025
Erteilung
12. Februar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/2209
Offizieller Volltext

Abstract

In a preliminary measurement, spectrums obtained by detecting characteristic X-rays emitted from preliminary measurement points are transmitted to a spectrum processing unit (20) via a noise filter unit (22). In a main measurement, a spectrum obtained by detecting characteristic X-rays emitted from a main measurement point is transmitted to the spectrum processing unit (20) by bypassing the noise filter unit (22). The noise filter unit (22) includes a machine learning type filter constituted of a CNN or the like. In a learning process, teacher data are generated using artificially-generated noise.

Anmelder

Firmen
JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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