Pellikel für Extreme Uv-Lithographie

EP3995893 Art A1 11. Mai 2022

Anmelder: Korea Electronics Technology Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3995893
Aktenzeichen: EP21207122
Anmeldetag: 9. November 2021
Veröffentlichung: 11. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Korea Electronics Technology Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Electronics Technology Institute

Staatlich gefördertes südkoreanisches Forschungsinstitut für Elektronik- und IT-Technologien mit Sitz in Seongnam, das Unternehmen bei Entwicklung und Kommerzialisierung neuer Technologien unterstützt.

568 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von