Positionsmesssystem, Positionsmessverfahren und Lithografische Vorrichtung

EP3995897 Art B1 23. April 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3995897
Aktenzeichen: EP21216555
Anmeldetag: 26. Mai 2016
Veröffentlichung: 23. April 2025
Erteilung: 23. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B9/02G01B9/02018G01B9/02015

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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