Messsystem zur Verwendung mit einem Hohlraum zur Lichtverstärkung

EP3997518 Art A1 18. Mai 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3997518
Aktenzeichen: EP20731081
Anmeldetag: 9. Juni 2020
Veröffentlichung: 18. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B23K26/04G01J1/42H01S3/13H01S3/139H01S3/223H05G2/00G02B3/10G02C7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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