Ionenimplantationssystem mit einer Mischung aus Lichtbogenkammermaterial
EP4000086
Art A1
25. Mai 2022
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4000086
- Aktenzeichen
- EP20839717
- Anmeldetag
- 17. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J37/16H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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