Verfahren zur Herstellung einer Gemusterten Materialschicht

EP4001455 Art A1 25. Mai 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4001455
Aktenzeichen: EP20208461
Anmeldetag: 18. November 2020
Veröffentlichung: 25. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/48G03F7/004G03F7/16H01L21/02H01L21/027H01L29/739

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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