Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Verformung einer Optischen Oberfläche eines Optischen Elements

EP4002009 Art A1 25. Mai 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4002009
Aktenzeichen: EP20206889
Anmeldetag: 11. November 2020
Veröffentlichung: 25. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/18G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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