Generator von Gemischtem Gasclusterionenstrahl und Massenspektrometer damit

EP4002424 Art A1 25. Mai 2022

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4002424
Aktenzeichen: EP21208217
Anmeldetag: 15. November 2021
Veröffentlichung: 25. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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