Integriertes Elektrohydrodynamisches Strahldruck- und Räumliches Atomlagenabscheidungssystem zur Flächenselektiven Atomlagenabscheidung

EP4004255 Art B1 30. April 2025

Anmelder: The Regents of the University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4004255
Aktenzeichen: EP20843448
Anmeldetag: 23. Juli 2020
Veröffentlichung: 30. April 2025
Erteilung: 30. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B41J29/02C23C16/455C23C16/52C23C16/54B41J29/377B41J11/20B41J11/14B41J11/00B41J2/06C23C16/02C23C16/04C23C16/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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