Erdungsmechanismus für eine Mehrschichtstruktur für Elektrostatisches Spannfutter und Zugehörige Verfahren

EP4004973 Art B1 18. Dezember 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4004973
Aktenzeichen
EP20843974
Anmeldetag
24. Juli 2020
Veröffentlichung
18. Dezember 2024
Erteilung
18. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H02N13/00H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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