Cantilever, Rastersondenmikroskop und Messverfahren mit Rastersondenmikroskop

EP4006557 Art A1 1. Juni 2022

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4006557
Aktenzeichen: EP20847670
Anmeldetag: 30. April 2020
Veröffentlichung: 1. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q60/22G01Q70/10G01Q70/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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