Metrologische Vorrichtung und Metrologische Verfahren basierend auf der Erzeugung Hoher Oberschwingungen aus einer Diffraktiven Struktur

EP4006640 Art A1 1. Juni 2022

Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, ASML Netherlands B.V., Stichting VU, Universiteit van Amsterdam 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4006640
Aktenzeichen: EP20209950
Anmeldetag: 26. November 2020
Veröffentlichung: 1. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/47G01N21/956G01N23/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
ASML Netherlands B.V.
Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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