Quantenvorrichtung und Ihr Herstellungsverfahren

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4006996

Aktenzeichen

EP21209982

Anmeldetag

23. November 2021

Veröffentlichung

18. Oktober 2023

Erteilung

18. Oktober 2023

Rechtsraum

EP

IPC

H10N60/10G06N10/00

Abstract

Dispositif quantique et procédé de réalisation L'invention concerne un dispositif quantique comprenant un motif de transistor (2) porté par un substrat (1), ledit motif de transistor (2) comprenant, en empilement : - un diélectrique de grille (21), - une grille (22b) supraconductrice sur le diélectrique de grille (21), ladite grille (22b) présentant une base (220), un sommet (222) et des flancs (221), ladite grille (22b) supraconductrice comprenant au moins une région (SP) supraconductrice en un matériau à base d'au moins un élément supraconducteur, le dispositif quantique étant caractérisé en ce que la grille (22b) comprend une portion basale (22base) présentant une dimension, prise selon une première direction (x) d'un plan basal (xy), inférieure à une dimension L222 du sommet (222) de la grille (22b), et en ce que le motif de transistor (2) comprend en outre au moins une portion diélectrique (23) en un matériau diélectrique au contact de la face supérieure (210) du diélectrique de grille (21) et de la portion basale (22base) de la grille (22b) supraconductrice. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel dispositif quantique.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete