Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Nichtstationären Objekts

EP4009107 Art A1 8. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4009107
Aktenzeichen: EP20210884
Anmeldetag: 1. Dezember 2020
Veröffentlichung: 8. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00G01N21/956G02B27/64G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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