Verbesserung der Bias-Temperaturinstabilität von SIO2-Schichten

EP4009351 Art B1 29. Mai 2024

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4009351
Aktenzeichen: EP20212064
Anmeldetag: 4. Dezember 2020
Veröffentlichung: 29. Mai 2024
Erteilung: 29. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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