Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4009359 Art A1 8. Juni 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4009359
Aktenzeichen: EP20210907
Anmeldetag: 1. Dezember 2020
Veröffentlichung: 8. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/74H01L21/768H01L23/528

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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