Randringsysteme für Substratverarbeitungssysteme

EP4010915 Art A1 15. Juni 2022

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4010915
Aktenzeichen: EP20850609
Anmeldetag: 30. Juli 2020
Veröffentlichung: 15. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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