Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der Hüllenbildung, Entwicklung und Puls-Zu-Puls-Stabilität in Hf-Betriebenen Plasmaanwendungen
EP4014245
Art A1
22. Juni 2022
Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4014245
- Aktenzeichen
- EP20852201
- Anmeldetag
- 12. August 2020
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Inc.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Mathys & Squire
München, Deutschland
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.
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MKS IP Association · Berlin