Mikrospiegel-Arrays

EP4018265 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., IMEC VZW 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4018265
Aktenzeichen: EP20750273
Anmeldetag: 5. August 2020
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
IMEC VZW
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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