Im Wesentlichen Kohlenstofffreie Molybdän- und Wolframhaltige Filme bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen

EP4018471 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4018471
Aktenzeichen: EP20854552
Anmeldetag: 10. August 2020
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285C23C16/30H01L21/28H01L21/768C23C16/455C23C16/06H01L21/027C23C16/34C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von