Maschinenlernen Basierte Erzeugung von Bildern nach der Entwicklung oder nach dem Ätzen

EP4020085 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4020085
Aktenzeichen
EP20216767
Anmeldetag
22. Dezember 2020
Veröffentlichung
29. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G06N3/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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