Maskenanordnung und Zugehörige Verfahren

EP4020087 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4020087
Aktenzeichen: EP22153676
Anmeldetag: 1. Februar 2016
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/62G03F1/66G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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