Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Objektivlinsenanordnung, Detektor, Detektoranordnung und Verfahren

EP4020518 Art A3 19. Oktober 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4020518
Aktenzeichen: EP21214837
Anmeldetag: 15. Dezember 2021
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/12H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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