Verfahren zur Herstellung einer Nitridschicht
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Centre national de la recherche scientifique, Université Grenoble Alpes 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4020525
- Aktenzeichen
- EP21216193
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Centre national de la recherche scientifique
Université Grenoble Alpes - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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Fachgebiete
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