Detektorsubstrat, Inspektionsvorrichtung und Verfahren zur Probenbeurteilung

EP4020565 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4020565
Aktenzeichen: EP20217152
Anmeldetag: 23. Dezember 2020
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/144H01L27/146H01L31/115H01J37/12H01J37/153H01J37/244H01J37/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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